获批设立“集成电路先进制造”全日制专业硕士项目
获批设立清华大学创新领军工程博士集成电路项目
清华大学第十四届党委第一百五十八次常委会会议讨论通过，成立集成电路学院。
清华大学学位评定委员会同意增设集成电路科学与工程一级学科博士、硕士学位授权点。
发改委、教育部批准建设“国家集成电路产教融合创新平台”。
微纳电子系作为主要依托单位建设的“北京市未来芯片技术高精尖创新中心”获批。
教育部、发改委、科技部等批准建设首批“国家示范性微电子学院”。
教育部批准建设“固体器件与集成技术教育部工程研究中心”。
首届微纳电子系本科生毕业。
微纳电子系首批获得“集成电路工程领域”工程硕士学位授予权。
集成电路人才培养基地招收的首届全日制工程硕士研究生入学。
清华大学批准成立微电子与纳电子学系。
教育部、科技部批准建设“国家集成电路人才培养基地”。
微电子所党委获批成立。
招收首届电子科学与技术（集成电路设计与制造技术方向）全日制二学位学生（连续招收三届）。
微电子学与固体电子学被评为国家重点学科。
获得电子科学与技术一级学科博士、硕士学位授予权。
微电子所党总支获批为校党委直属党总支。
建立我国第一条能够进行1微米VLSI研制与成套工艺开发的科研性工艺线。
微电子所大楼建成。
成立电子系党委直属的微电子所党总支。
微电子所获批建立半导体物理与器件博士后流动站。
清华大学在第16 次校长工作会议上通过《关于建立清华大学微电子学研究所的决定》，成立微电子学研究所。
半导体教研组从绵阳回迁，隶属于电子工程系（今计算机系）。
清华大学电子厂成立半导体车间。
半导体教研组随无线电系迁往四川绵阳分校。
无线电系（今电子系）成立半导体教研组，半导体专业划入。
清华大学设立半导体专业。
清华主页
