微系统是集成微传感器、微执行器、处理电路等的芯片集成系统，是微型化技术的前沿学科。本课程介绍微系统的基础理论、设计制造方法、重要发展方向和前沿领域，包括微制造技术、物理力学基础、微传感器、微执行器、RF-MEMS、光学微系统、芯片实验室、BioMEMS、PowerMEMS。
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