清华大学微纳加工中心

清华大学微纳加工中心是校级“开放式、多目标的科研教学实验平台”,服务于全校各个科研和教学单位,同时向社会开放。中心以服务于建设有中国特色世界一流大学为目标,瞄准世界微纳加工领域技术前沿,致力于产出国内外基础性、前瞻性、特色性的原创成果,成为能够实现重大突破的开放性科研和教学实践育人中心。

微纳加工中心在科研方面,支持一流的原创性成果,服务国家重大项目、重大需求的研究;在育人方面,努力培养国内外领先水平的微纳技术领军人才,服务国家人才强国战略。

微纳加工中心在各级领导和产业界的支持下发展迅速,软硬件条件完备而先进,加工与服务水平快速提高。目前,中心拥有超净面积约1200平方米,专业技术人员30余人,对校内外进行7天24小时开放服务。随着中心的快速发展,用户数量逐年提升,现已达740余人,其中约31%来自校外的科研机构和企业。

微纳加工中心积极服务国家重大项目,包括建设“服务于‘智能芯片 + 智能硬件’双创开放平台”“集成电路高精尖创新中心”“清华大学集成电路产教融合创新平台”。微纳加工中心重视对外合作交流与科普活动,在对外服务、团队建设等方面获得了多项奖励。

未来,微纳加工中心将不断提升高精尖的科研条件,提高管理水平,建设高水平、专业化技术队伍,使平台成为在“硬件”设施和“软件”水平均世界一流的开放共享微纳技术平台!

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