清华大学微纳加工中心

2010年底,微电子学研究所建立了微纳加工中心,目标是建设成一个“开放式、多目标的科研教学实验平台”。平台在学校设备处的指导和支持下,服务于校内外各个科研单位,运行更加高效、管理更加规范。平台现有超净面积约1200平方米,总体为千级,其中包含百级超净间100平方米,有全职工作的实验技术人员23人;平台现有各类设备120多台,总设备资产约1亿元人民币;超过40万的设备为20余台,计5000多万元。

目前,微纳加工技术已经远非微电子领域专属的加工技术,被广泛地应用在包括物理、化学、生物、材料、电子、医疗、精仪、机械等众多基础研究和应用研究领域,成为一个典型的跨学科基础技术。通过共享的先进微纳加工设备与环境,将跨学科的研究团队聚集在同一个物理空间,达到促进学科交叉,孕育创新的想法和取得高水平的研究成果的目的。

微纳加工中心鼓励学生亲自动手使用各种设备,大力培养学生的动手能力,为培养创新型复合人才提供一个重要的基地。(http://tnf.ime.tsinghua.edu.cn