工艺技术的发展持续推动集成电路产业的发展。本门课程将系统介绍在微电子工艺进入亚10纳米后的关键工艺模块，包括刻蚀，光刻等，将学习先进逻辑器件、主流存储器的工艺集成等先进微电子工艺。本门课程将安排去先进工艺线的实地实践，安排在国际领先设备上进行实际操作，以此来增强学生对于先进微电子工艺的理解。本门课程还包含了先进微电子工艺仿真软件的学习和实践环节，并在课程老师及企业导师的指导下完成先进微电子器件的设计及仿真项目。
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