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曲伟峰(KYOKU IHOU) 长聘教授

E-mail:kyoku@mail.tsinghua.edu.cn

通信地址:北京清华大学集成电路学院

KYOKU IHOU(曲伟峰),日本籍,1996年获工学博士学位。曾任日本学术振兴会145委员会委员,于2022年回国,2022-2023年 清华大学卓越访问教授,2023年- 清华大学长聘教授,讲席教授。

曾就职于日本信越半导体株式会社半导体磯部研究所,任首席研究员、研究室室长、AW研究开发会部会长,并在该研究所工作25年,致力于半导体材料及工艺的研究开发工作。截至2000年,在领域内顶级期刊发表学术论文37篇,至今为止授权国际发明专利140多项。在先进制程用半导体材料方面的多项成果属世界首创,并具备极高的科研成果转化能力,实现了同类材料在世界市场的超高占比,是日本硅材料领域第二代领军人物。

主要研究方向:硅以及超宽禁带半导体材料的物性和制造工艺研究。

主要研究成果:国际上率先量产了掺氮硅退火材料(材料名称:IG-NANA),该材料广泛应用于逻辑电路、存储器、汽车用集成电路、功率集成电路,支持工艺制程至5nm,该产品约占硅退火材料全球市场的三分之一。

自主研发了碳离子注入外延硅材料,解决了固态图像器件的“White Spot”国际难题。

主持研制开发了适用于多层结构DRAM、NAND用RTA(Rapid thermal annealing)处理硅片,该型RTA硅片约占全球市场的一半。