伍晓明

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伍晓明 副研究员


电话:010-62798742

E-mail:imewuxm@tsinghua.edu.cn








伍晓明博士,副研究员,博士生导师,于2002年在清华大学精密仪器与机械学系获工学博士学位,随后加入清华大学微电子学研究所工作。2009年至2010年,在美国加州大学伯克利分校传感器与执行器中心(BSAC)作访问学者。现任清华大学微纳加工中心副主任。

伍晓明长期从事微纳加工工艺与微纳器件领域的研究与开发工作,主要研究方向为集成智能传感器、微机电(MEMS)器件、能量收集器、碳基纳米器件、二维材料电子器件等。作为项目负责人,主持了国家自然科学基金、北京市自然科学基金、科技部重点研发计划课题、国际合作等多个项目,已发表科研论文100余篇,获得国家发明专利18项,是美国电气与电子工程师协会(IEEE)会员。