付军




付军 副研究员


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付军,博士,副研究员,1992年7月毕业于北京清华大学电子工程系并获得工学学士学位。1998年6月毕业于北京清华大学微电子学研究所并获得工学博士学位。1999年6月至2001年9月在荷兰Delft 技术大学(TU-Delft)的微电子及亚微米技术研究所(DIMES)从事博士后研究,研究工作主要内容是结合工艺计算机辅助设计(TCAD)工艺和器件仿真进行CMOS(互补金属氧化物半导体场效应晶体管)和Si BJT(硅双极晶体管)等半导体集成电路工艺和器件的研究与优化。2001年9月至2006年8月在德国X-FAB Semiconductor Foundries AG 公司受雇为工艺开发项目主管从事SiGe BiCMOS(锗硅双极-互补金属氧化物半导体场效应晶体管)和RF CMOS(射频互补金属氧化物半导体场效应晶体管)等半导体集成电路工艺开发工作。2006年9月回国,受聘为副研究员在北京清华大学微电子学研究所固体器件与集成技术研究室工作至今,并加入硅基智能传感器研究组。作为课题负责人承担的课题包括国家科技重大专项、国家发展和改革委员会产业化专项等;发表期刊和会议学术论文共计40余篇;授权中国发明专利29项(第一发明人13项),授权美国发明专利3项(第一发明人2项)。


研究方向:面向通信、雷达、传感以及空间探测等应用领域的SiGe HBT、SiGe BiCMOS、RF CMOS、RF LDMOS以及谐振器和传感器等有源和无源器件及其硅基射频微波毫米波集成电路等方面的技术研究和开发