刘泽文

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刘泽文 研究员


通信地址:北京清华大学集成电路学院,邮编100084

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Fax:010-62771130

E-mail:liuzw@tsinghua.edu.cn







刘泽文, 博士,教授,博士生导师,安徽肥东人,本科毕业于中国科学技术大学。 1997年法国巴黎第十一大学博士毕业后回国工作。曾任清华大学微电子所微纳器件与系统研究室副主任,微电子学研究所副所长等职。中国电子学会和中国微纳技术学会高级会员,多次担任自然科学基金, 国家重大专项和自然科学奖评审专家。曾经获得清华大学优秀教师,清华大学优秀博士生导师等称号。在国内外学术期刊和会议上发表学术论文100多篇,拥有发明专利30多项。目前的主要研究方向是MEMS及微纳系统,主要研究领域包括:

1. 用于无线通讯的射频和微波MEMS器件研究

2. 用于DNA测序的纳米技术研究

3. 集成智能传感器研究


讲授的主要课程有:

《集成智能传感器》,《微纳技术加工原理》,《传感器在现代社会生活中的应用》