王喆垚

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王喆垚 长聘教授


通信地址:北京清华大学集成电路学院

邮编:100084

电话:010-62771130

电子邮箱:z.wang@mail.tsinghua.edu.cn

更多信息:http://main.ime.tsinghua.edu.cn








王喆垚,1972年出生于内蒙古,1990考入清华大学精密仪器系,1995年获学士学位。同年免试进入清华大学精密仪器系攻读博士学位,2000年获机械电子学专业工学博士学位。2000-2002年在清华大学微电子学研究所从事博士后研究,2002-2003年在荷兰Delft University of Technology微电子与亚微米技术研究所(Delft Institute of Microelectronics and Submicron Technology, DIMES)从事博士后研究,2003年底回国工作。2003年底任副教授,2008年底晋升为教授。先后从事RF MEMS、高频硅微加工器件,以及BioMEMS的研究。


目前主要研究方向:

1. BioMEMS及生物医学传感器

[1]. 蛋白检测传感器阵列和重大疾病早期诊断芯片

[2]. 微流体与芯片实验室( Lab-on-a-chip

2. 三维集成芯片系统(SOC

[1]. CMOS兼容三维集成技术

[2]. 三维铜互连技术

3. 微/纳电子机械系统及微纳传感器

[1]. 微纳米传感器

[2]. 集成传感器阵列


授权中国发明专利3项,公开专利6项,获得北京市科技进步二等奖1项(5/9),清华大学科技成果推广三等奖1项(5/5)。2005年入选北京市“科技新星计划”,入选2005年教育部“新世纪优秀人才支持计划”。目前负责国家自然科学基金(面上)、973子课题、863探索导向型项目,以及Intel和ABB公司国际合作项目。现为中国仪器仪表学会传感器分会理事,IEEE会员,IEEE Sensors Journal,IEEE Trans. Ultrasonic Ferroelectrics and Frequency Control,Microelectronics Reliability, Sensors and Actuators A/B等期刊应邀审稿人,IEEE Sensors Conference2008及2009技术委员会委员。发表国际期刊和会议论文45篇。